2023年11月28日 BY
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洁净室 又称无尘室, 是一种特殊设计和建造的环境。主要目的是在制造、科学研究或其他需要高度洁净和控制的应用中，提供一个极低微粒和污染物水平的空气环境。
例如：在半导体、光电面板的制造过程中，被加工件的导电性能会被环境中的金属离子破坏掉，洁净室可避免这种情况的发生。
洁净室依据洁净程度，可划分为零级、十级、百级、千级、万级乃至十万级、三十万级，其中数值越低，代表洁净室的等级越高。
洁净室的运营条件苛刻且复杂，不仅需将空气中的微粒子、有害气体、有机质等污染物进行排除，更需通过连续的控制手段将影响室内环境的各项指标维持在标准数值内。
不同等级的洁净室有不同的控制标准，以百级洁净室为例：

影响洁净室是否达到等级标准的因素很多，如空调系统、新风系统的送风温湿度、送风静压，新干盘管内的回风道温度，冰水系统、热水系统的水泵运行状态，水管阀门的开度等，都会影响区域内的温度、湿度和压差。
因此，一套可严密监控环境指标变化和控制相关设备的监控系统不可或缺。
针对光电面板厂商新建工厂时的百级洁净室运营要求，台达结合在绿色厂务上的经验，为其提供从建设到实施的一套完美监控所有公辅系统的解决方案，对洁净室的安全运营提供了保障。
强势入围：工程能力与服务能力并重
鉴于百级洁净室的高标准要求，在运营阶段承载运营管理重任的监控系统同样有着高标准，必须从开始建设阶段即着手介入，整体过程要充分结合制程工艺的需求特点，十分考验施工单位的全面能力。
基于自身作为大型电子企业，有智能制造实践的工程建设经验，台达为此项目提供了从现场诊断、方案规划、工程设计到项目执行、保障服务等支持，满足了业务方的建设进度和工程质量需求。

台达解决方案
方案中，台达冗余型PLC、工业以太网交换机和组态软件，形成软件、硬件、网络三冗余控制，严格确保系统的稳定运行。
效益实现：百级洁净室良性运营
运行状态实现严格管理
洁净室内温湿度、气压等关键数据实时监控。
各类公辅系统及时联动，统一管理，调节方便，故障处理及时。
监控系统根据洁净室内各项指标数据，对相关公辅设备进行开度调节，使室内的温湿度变化、气压压差、供水量以及灰尘含有量高于百级洁净室要求。
以温度变化为例，当监控系统检测到区域内温度变化达到临界值，即可根据外界温湿度及空调、空压、热水等系统的输送量数值，联动PLC调节相应设备的开度，保持室内温度始终稳定于预定值。
数据实时监测、便捷呈现
可查询各区域传感器组中温度、湿度、水压力等环境条件的最大值、最小值、平均值及画面。
可自动检测时区，根据时间设定触发自动汇出报表，输出至屏幕、工作表、数据库或电子邮件。
统计能源数据，呈现历史数据对比、碳排放统计、能源趋势分析、能源分布与排名、不同能源的折算对比图表等。
故障问题通过闪烁图示，以及置短信、电子邮件、呼叫器和语音留言等方式及时通知操作人员。
台达百级洁净室解决方案，以“数字化”为链条，通过完善的监控体系，实现对百级洁净室的运营管理，助力用户稳定生产，达成良率目标。

ZMI-2002